|
日前，由中國航天科技集團公司八院航天機電太陽能公司承擔的技術推廣項目“連續式等離子體太陽電池減反射膜制備系統開發”，順利通過了國家國防科工局和中國航天科技集團公司驗收。該項目完成了PECVD系統集成的研制和配套工藝技術研究，突破了大型真空腔的工業化制造、大面積線性微波等離子源技
日前，由中國航天科技集團公司八院航天機電太陽能公司承擔的技術推廣項目“連續式等離子體太陽電池減反射膜制備系統開發”，順利通過了國家國防科工局和中國航天科技集團公司驗收。該項目完成了PECVD系統集成的研制和配套工藝技術研究，突破了大型真空腔的工業化制造、大面積線性微波等離子源技術和多層鍍膜均勻性等關鍵技術，生產效率比要求指標提高了50%，申報了6項專利，其中發明專利3項，并形成了一批工藝訣竅。 |
