北京七星華創電子股份有限公司　　　　

　　太陽能發電網訊：2012年11月15日，由SEMI中國和北京七星華創電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)聯合舉辦的，2012泛半導體產業媒體沙龍活動在七星電子總部舉行。

　　七星電子張總致歡迎詞，并向媒體簡單介紹了七星電子。北京七星電子成立于2001年，于2012年3月在深交所成果上市，是一家以集成電路制造工藝技術為核心，以大規模集成電路制造設備、混合集成電路和電子元件為主營業務，集研發，生產，銷售及服務于一體的大型綜合性高科技公司。

　　七星電子空港IC研發中心劉總介紹：“七星電子研制的國內首臺300mm立式氧化爐設備，應用于集成電路生產線90/65mm工藝中的20~1000埃氧化膜生長及退火等工藝”。

　　七星電子應用在超大規模集成電路硅片制成的銅互連工藝階段的300mm65nm銅互連清洗設備，其設備技術指標已達到國際同類產品先進水平。該設備采用單片多腔室結構，具有占地面積小、結構緊湊、高度自動化、超強穩定性等優點。

　　微電子設備分公司李總介紹：“七星電子在高效薄膜設備及工藝、晶硅自動化技術方面，已掌握核心技術，以良好的質量與服務裝配了國內外多條生產線”。據了解，七星電子涉及光伏的主要產品包括：單晶爐、多晶硅鑄錠爐、擴散爐、PECVD、制絨清洗機、去PSG清洗機、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。尤其在光伏大規模生產線上得到大量使用，其技術水平、產能、成本控制及自動化程度都已達到世界領先水平。

　　七星電子研發的SSD8571A擴散爐，采用了高精度、智能化、多點控溫技術，保證了對爐內溫度控制的快速穩定，確保了控溫數據的快速反應以及準確性。自動壓力平衡裝置，是爐內外壓差為定值，且可根據工藝需求改變設定，從而提高了工藝均勻性以及工藝擴展性。設備單片COO下降20%，單位綜合能耗下降20%以上，設備安全運行時間實屬國內領先，設備維護成本低廉。在客戶現場運行的實驗數據一直處于國內領先水平，設置趕超國際一線廠商的水準。該設備實現了MES與設備端的數據交互。

　　同時，七星電子研發的SSP8471A管式PECVD為單管產能全球最高設備，電池片轉換效率高，屬于世界先進水平。該設備具有獨特的射頻引入方式，且全自動運行并預留倒片接口。設備工藝均勻性高，差異小于3%，配備了全自動上下料系統，碎片率≤0.1%(人為失誤及隱裂片除外)。此外，UPTIME≥95%(總時間-政策維護時間-異常停機)/總時間。該設備也實現了MES與設備的數據交互。

　　關于北京七星華創電子股份有限公司

　　北京七星華創電子股份有限公司(簡稱“七星電子”)是國內知名電子專用設備供應商，是我國最早的半導體設備研制企業，是我國第一臺半導體擴散爐、第一臺等離子刻蝕機、第一臺氣體質量流量控制器研制企業，也是我國最早的半導體清洗設備研制企業，完成國內首條半導體生產線中6項關鍵設備的研發制造。

　　七星電子是國內重要的電子專用設備供應商，在集成電路制造設備、太陽能電池制造設備、TFT-LCD面板制造設備、電真空制造設備、鋰離子電池設備和其他質量流量計主要技術和關鍵技術上市領軍企業。

　　目前，七星電子已成長為我國電子專用設備龍頭企業之一，是中國電子專用設備工業協會理事長單位、北京電子制造裝備行業協會會長單位、SEMI行業協會會員。