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    國產高純碳素熱場在半導體太陽能硅晶體生長領域應用

    2010-04-11 12:10:03 太陽能發電網
    提要:國產高純碳素熱場材料通過集成創新,在單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐、氫化爐等多個領域獲得成功的應用。成功地替代了進口石墨材料及其產品,成功地實現硅晶體生長熱場材料的更新換代。 Abstract: Through integrated innovation domestic high-purit
    技術創新能力

     

    核心技術開發創新有產品、設備、工藝開發等多個方面。

     

    氫化爐加熱器開發成功。氫化爐加熱器是世界性難題。形狀為U形帶狀,零件截面積小,只有幾個平方厘米,長度卻達到4M;使用條件苛刻;處于尾氣處理閉環系統中,卻要持續在一千多度的高溫下工作,它是造成閉環系統停產的最敏感因素。U形加熱器的使用可靠性對多晶硅的生產成本的影響很大。20086月份開始組織科技攻關,動員全體員工認真研究產品的損壞機理、研究這個產品使用條件、氣氛對材料的作用,總結經驗和教訓,對制造工藝進行了大調整,制造成功加熱器,在成功控制幾何形狀、尺寸、表面光潔度的同時,材質密度高于技術要求,機械性能、點性能滿足要求,對表面做了有效防護,獲得客戶的好評,使用考核效果完全能夠取代國外產品。

     

    開發的470澆鑄爐坩堝蓋板及其他大尺寸碳-碳復合材料板材,材料的密度與強度符合使用要求,獲得了工業驗證。多晶澆鑄爐的螺釘螺栓消耗很大。客戶反映所使用進口的螺栓使用壽命短。對其材料進行分析,發現纖維含量很低,機械性能自然接近石墨材料。公司開發了高纖維含量的螺釘螺栓坯體材料,大大提高了螺釘螺栓的使用性能

     

    公司為適應單晶爐的大型化趨勢及硅晶體大型化形勢的需要,開發了多種大型單晶爐熱場系統。全碳-碳復合材料18的熱場系統在2006年通過工業性使用考核。系統成晶條件好,成晶區域寛;無放氣現象,煅燒時間短,成材率高,節能;密度梯度材料制成的整體導流筒、大蓋板一體性好,可靠性高,碳-碳復合材料加熱器減輕了重量,機械強度則大幅度提高;整個熱場系統操作方便,使用壽命長,使用可靠性大大提高。在這個基礎上,先后有開發了20"、22"、24"英寸的熱系統。為上海、天津等計價公司提供了大型熱場零部件;上海丹克40臺設備上應用本公司產品,月節電40萬度。節能減排效果很明顯。

     

    公司推出的整體式多晶澆鑄爐的碳-碳復合材料加熱器、整體式低密度固化保溫氈等全套熱場系統,在益陽晶鑫、天津希力斯、天津軍凱獲得很好的使用效果

     

     

    6. 公司的產能

     

    公司的碳-碳復合材料生產關鍵設備全部是自主設計,委托廠家加工,設備的核心部件由自己制造,自己總成。立式真空電阻加熱爐恒溫區直徑1.45m,高度達到2m;臥式爐恒溫區尺寸2.3M×1.6M×0.8M;設備使用了大量的大尺寸CC復合材料加熱器和大量的固化保溫板,設備的使用性能優異

    ,多溫區段電匹配性能很好,節能。大型臥式化學氣相沉積爐是一套嶄新的設備,具有完全自主知識產權,是碳-碳復合材料裝備的一大創舉。該設備的試制成功,大大擴大了公司的產能和產品譜系。制造新型碳材料產品的近凈成形工藝,為低成本、節能節材新產品開發提供了強有力的保障。公司有能力面對廣闊和多變的市場。坯體制造、熱加工、冷加工生產線運行可靠,具備批量生產的能力。

     

     

    7. 公司的管理

     

    公司加強法人治理結構,健全組織機構,加強了財務管理,營銷管理、生產管理、技術管理、質量管理。公司重視質量管理體系建設,20095月獲得9001質量認證工作。產品的質量檢驗和質量控制程序順暢,員工的質量意識有所提高。

     

    企業要眼于客戶的要求,堅信利他是價值的源泉。

     

    公司靠核心技術創新能力,靠優質的產品、超前的技術和優質服務獲得客戶的認同,實現了企業的產品價值,組織價值和組織價值。

     

    第一,為保護有自主知識產權的產品,公司申請注冊商標,國家商標局已經受理,公司申請的商標已經可以有效使用。公司擁有8個專利,還有多項專利正在申報過程中。

     

    第二,積極申報《碳/碳復合熱場材料產業化示范工程專項》項目。200921國家發展和改革委員會辦公廳已正式發文確定碳/碳復合熱場材料產業化專項項目列入國家高技術產業發展項目計劃及國家資金補助計劃。

     

    第三,公司的部分熱場產品,列為國家重點新產品;

     

    第四,公司2008年獲得長沙市科技局科技支撐計劃重點支持;獲得湖南省科技廳的科技支撐計劃的支持;獲得長沙市發改委的重點支持…..

     

     

    8.  結束語

     

    公司致力于中國創造,通過材料、技術、設備、工藝、產品、服務的集成創新,創造性地將技術轉化為高科技新產品、轉化為社會價值和經濟價值。公司瞄準未來產業發展的制高點,努力建設創新型企業圍繞建設資源節約型、環境友好型的偉大目標,為推進半導體、太陽能硅晶體生長石墨碳素材料的國產化和產品的更新換代,創新、進取,為解決我國資源不足,生態環境脆弱、經濟對外依存度高的一系列難題,立足本職,著眼未來,不斷開辟新的發展空間,為中華民族的復興作出應有的貢獻。

     

     

     



    作者:蔣建純 來源: 責任編輯:admin

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