• <li id="dbi8b"><legend id="dbi8b"><th id="dbi8b"></th></legend></li>

  • <span id="dbi8b"><optgroup id="dbi8b"></optgroup></span>

    <span id="dbi8b"></span>

    薄膜電池微晶硅高速沉積技術(shù)

    2012-08-27 11:24:02 太陽能發(fā)電網(wǎng)
    疊層電池中微晶硅層的生長速率和質(zhì)量會顯著影響電池的成本,為了降低微晶硅薄膜電池的成本,必須提高微晶硅的沉積速率,目前在保證電池質(zhì)量的前提下,采用pecvd技術(shù)所能達(dá)到的微晶硅沉積速率一般為5a/s,采用hwcvd微晶硅的沉積速率一般為1a/s左右,而疊層電池中微晶硅層的厚度

     

      疊層電池中微晶硅層的生長速率和質(zhì)量會顯著影響電池的成本,為了降低微晶硅薄膜電池的成本,必須提高微晶硅的沉積速率,目前在保證電池質(zhì)量的前提下,采用pecvd技術(shù)所能達(dá)到的微晶硅沉積速率一般為5a/s,采用hwcvd微晶硅的沉積速率一般為1a/s左右,而疊層電池中微晶硅層的厚度較厚,一般為1~2µm,因此可以推斷采用pecvd技術(shù)僅沉積微晶硅層就需要34~68min,這嚴(yán)重地影響了電池制備的節(jié)拍時間,而且薄膜硅電池整個生產(chǎn)線的節(jié)拍時間是由硅薄膜沉積這個工序決定的,因為這段工序所需要的時間最長,因此微晶硅的沉積速率最終影響到了整個產(chǎn)線的節(jié)拍時間。
      目前國內(nèi)對于微晶硅快速生長的研究僅在南開大學(xué)、鄭州大學(xué)、南京大學(xué)等開展,且產(chǎn)業(yè)化的開發(fā)還未開始,因此需要進(jìn)行微晶硅快速生長的研究,以獲得更高生長效率的微晶硅層。
      因此對于微晶硅高速沉積技術(shù)的研究是比較重要的課題方向,研究的內(nèi)容主要是通過調(diào)節(jié)電極間輝光放電的頻率和功率、電極距離、氣體的比例、氣體的壓力、氣體的流量等參數(shù)以獲得高質(zhì)量、高沉積速率的微晶硅薄膜,最終縮短微晶硅層的沉積時間。

     



    作者: 來源: 責(zé)任編輯:郭燕

    太陽能發(fā)電網(wǎng)|m.www-944427.com 版權(quán)所有
    24小时免费看片| 久久综合国产乱子伦精品免费 | 日韩乱码人妻无码中文字幕视频| 国产av一区二区精品久久凹凸| 黄页网站在线视频免费| 成人综合激情另类小说| 九九久久精品国产AV片国产| 最近中文字幕资源8| 亚洲熟妇中文字幕五十中出| 激情内射日本一区二区三区 | 久久国产视频一区| 日韩人妻无码中文字幕视频 | 果冻传媒和91制片厂| 亚洲欧美国产精品第1页| 欧美色视频在线| 人妻精品久久久久中文字幕一冢本 | 在镜子里看我怎么c你的| 两根一进一出啊灌满了视频| 成年午夜性视频| 久久久99精品免费观看| 日本一卡精品视频免费| 久久精品国产日本波多野结衣| 日韩国产欧美精品综合二区| 亚洲h在线观看| 最近更新在线中文字幕一页| 亚洲AV无码潮喷在线观看| 日韩制服丝袜在线| 久久久精品国产| 拍拍拍无挡无遮10000| 久久亚洲sm情趣捆绑调教| 强制邻居侵犯456在线观看| 久久99精品视香蕉蕉| 好大好湿好硬顶到了好爽视频 | 精品久久久久久无码人妻热| 国产一区二区三区在线观看影院 | 国产男女猛烈无遮挡免费网站 | 美女污污视频在线观看| 国产一级一级毛片| 美女开嫩苞视频在线播放| 全高清特级毛片| 激情黄+色+成+人|